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?潔凈度的等級劃分

2018-07-25 15:18:50 196

潔凈度的等級劃分 

一、槪述所謂凈化車間,是指由于微電子生產制造場所對生產車間內 的潔凈程度有一定要求而特殊設計空氣過濾、使車間內的灰塵濃 度滿足一定要求的車間。凈化車間又稱潔凈廠房、無塵室等。凈 化車間按其單位體積內的灰塵數量,可分為不同等級。典型的凈 化車間為100級(即每立方英尺空間內最多100個塵粒)或者更 低。 由于各個國家使用的單位體積的單位制不同,分級標準也就 不同。西方不少國家仍然使用每立方英尺內的灰塵含覺來分級, 與使用每立方米內的灰塵含M來劃分的潔凈等級,就存在換算困 難的問越。 但是,無論使用哪種單位制,所依據的基本原則是一致的,即: 均按1分鐘單位體積內的灰塵粒子數,來劃分潔凈等級。例如,對 某一直徑的粒子來說,可以定義每立方英尺內的粒子數為丨個,稱 為 潔 凈 度 1 級 ; 每 立 方 英 尺 內 的 粒 子 數 為 1 0 個 , 稱 為 潔 凈 度 1 0 級;粒子數為100個,潔凈度為100級;其余類推。 表5-1給出了 ISO 14644規定的凈化車間的等級劃分。目 前大部分國家均采用這一標準9。

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我國也采用ISO 14644的凈化車間的分級方法。 為了便于讀者參考,編者在表5 -2中給出了世界主要工業發 達國家凈化車間的分級體系比較(以0.5 p粒子為例)。

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標簽: 無塵車間
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